8인치 올림푸스 웨이퍼 검사 시스템 특징

● 적응 범위가 넓고 배합이 유연하며 8인치 올림푸스 웨이퍼 검사 시스템은 높은 실용성과 높은 신뢰성을 가지고 있다.

● 8인치 올림푸스 웨이퍼 검사 시스템은 다양한 크기의 실리콘 조각을 전송한다

실리콘 칩의 크기를 기반으로 한 AL120 시리즈 웨이퍼 검사 시스템은 단일 200mm (AL120-L8), 150mm 및 200mm 호환 (AL120-L86), 단일 150mm 또는 그 이하 크기 (AL120-L6) 의 3 가지 기본 모델이 있습니다.모든 모델은 실리콘 칩을 전송하기 위해 이미 현미경 검사를 진행하기 위해 설계되었다.전면 매크로와 후면 매크로 검사는 모두 각종 사이즈의 실리콘 조각에 적용될 수 있다.

● 8인치 올림푸스 웨이퍼 검사 시스템은 90um까지 얇은 초박형 실리콘 칩을 전송할 수 있다

올림푸스 웨이퍼 검사 시스템은 더욱 도전적인 초박형 실리콘 칩에 대응하기 위해 25장에 200mm의 케이스와 90um까지 얇은 실리콘 칩에 대응하고 보안 전송과 현미경 검사를 완료할 수 있도록 전송 팔을 특수 설계했다.판넬을 통해 최대 10가지 두께의 실리콘 칩 정보를 미리 설정할 수 있습니다.

● 정밀한 능력, 거시적 검사 기능 강화

매크로 검사 기능을 갖춘 새로운 데스크 (LMB형) 는 360도 자동 회전으로 실리콘 조각의 각 면 매크로 검사를 완료합니다.이 설계는 실리콘 조각의 앞뒷면에 있는 결함과 입자를 쉽게 발견할 수 있다.또 흔들대를 이용해 실리콘 조각을 30도 기울여 거시적으로 검사할 수 있다.

● LCD 디스플레이로 정밀도 및 조작 편의성 제공

LCD 디스플레이는 조작자에게 더욱 직관적인 시각적 감각을 제공하여 올림푸스 웨이퍼 검사 시스템의 검사 항목과 순서를 명확하게 하고, 설치 디버깅에 필요한 매개변수도 한눈에 볼 수 있도록 한다.검사 결과, 조작자가 입력한 거시적이고 미시적인 결함 기호를 포함하여 LCD 디스플레이에 함께 표시할 수 있어 조작자의 회고를 편리하게 할 수 있다.

● 정교한 신뢰성

실리콘 칩의 안전성에 대해 AL120 시리즈 웨이퍼 검사 시스템은 새로운 두 가지 실리콘 칩 검사 방식을 채택한다: 실리콘 칩의 두께와 칩 박스에서의 위치.전송하기 전에 먼저 실리콘 조각이 케이스에 있는 위치를 스캔한다.선택적으로 구입한 적재대 자동 잠금 기능은 실리콘 조각을 진공 적재대로 전송하는 안전성을 높였다.

● 강력하고 신뢰할 수 있는 현미경

올림푸스 반도체 검사 현미경 MX61은 명장, 암장, 미분 간섭, 적외선, 심자외선 등 다양한 관찰 방식을 통해 고해상도와 고해상도의 이미지를 나타낼 수 있다.전동물경회전판을 장착하여 현미경 본체의 공경광란과 련동기능을 갖고있으며 매번 물경의 전환마다 공경광란도 자동적으로 변환된다.

● SEMI S2/S8 및 RoHS 준수

AL120 시리즈 웨이퍼 검사 시스템 설계는 전송 중인 실리콘 칩의 안전뿐만 아니라 조작자의 안전도 보장하며 SEMI의 S2와 S8 표준에 완전히 부합하며 Rohs 표준도 만족시킨다.

8인치 올림푸스 웨이퍼 검사 시스템 기술 규격