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제품 상세 정보
- 제품 설명
기기는 고감도 헬륨 이온화 검측기를 갖추고 있으며, 화아이회사의 센터 절단 기술을 채용하고, 샘플링 밸브는 모두 청소 보호 가스로를 가지고 있다;전체 기계는 다중 기둥 상자로 설계되었으며, 샘플링 압력 자동 교정 시스템을 갖추어 서로 다른 저력의 샘플의 샘플링 양을 보장한다.제품은 선후로 상해시 첨단기술성과전환 A급항목, 상해시 중점신제품, 상해시 성화계획과 2009 과학기기제품 등 칭호를 수여받았다.
산화아질소 분석 헬륨 이온 크로마토그래프참고: GB/T 14600-2009 전자공업용 기체 산화아질소 현행 기준
| 프로젝트 | 지표 | ||
| 산화아질소(N2O)(체적분수)/10-2 | ≥ | 99.9994 | 99.997 |
| 이산화탄소(CO2)(체적분수)/10-6 | ＜ | 0.5 | 2 |
| 일산화탄소(CO)(체적분수)/10-6 | ＜ | 0.1 | 1 |
| 탄화수소 C1~C5(메탄계)(체적분수)/10-6 | ＜ | 0.1 | 1 |
| 질소(N2)(체적분수)(N2)/10-6 | ＜ | 3 | 10 |
| 산소(O2)(체적분수)/10-6 | ＜ | 0.5 | 2 |
| 수분(H2O)(체적분수)/10-6 | ＜ | 1 | 3 |
| 암모니아(NH3)(체적분수)/10-6 | ＜ | 공급과 수요 쌍방이 협의하여 결정하다. | 5 |
| 일산화질소(NO)(체적분수)/10-6 | ＜ | 공급과 수요 쌍방이 협의하여 결정하다. | 1 |
| 이산화질소(NO2)(체적분수)/10-6 | ＜ | 공급과 수요 쌍방이 협의하여 결정하다. | 1 |
| 불순물 합계(체적분수)/10-6 | ≤ | 5.5 | 26 |
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