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제품 상세 정보
라이카 금상 현미경DM12000M광학 원리를 이용하여 측정된 샘플을 현미경의 관찰 플랫폼에 배치하고 빛을 반사하거나 투과함으로써 샘플의 이미지를 현미경의 고글에 확대한다.광선의 산란과 흡수에 대한 샘플의 특성 하에서, 이미지를 만들 때 샘플의 이미지 현상은 파라미터의 변화에 따라 끊임없이 변화한다.관측자는 이런 변화에 근거하여 견본의 현미구조와 조직을 판단할수 있다.
DM12000M Leica 금상 현미경의 특징:
1. 새로운 광학 디자인은 거시적 모드의 빠른 초기 검사 및 기울어진 자외선 회로 기능 (OUV, 기울어진 자외선 관찰 모드) 을 제공할 수 있으며, 해상도뿐만 아니라 12인치 (300mm) 실리콘 칩의 생산 능력을 검사할 수 있다.새로운 LED 조명 기술 일체화 설계와 현미경에 통합, 저열 복사 및 동체 내 일체화 기술은 이상적인 동체 외 공기 흐름 상태를 보장한다.
2. DM12000M Leica 금상현미경은 검사용을 단축할 때 검사효률을 높이고 자동초점부속품 투사광검사조명의 자동초점부속품은 모든 반사광조명관찰방식에 배합할수 있으며 심지어 암시장과 미분간섭이 서로 어울려 관찰할수도 있다.빠르고 정확한 자동 초점을 구현하고 심지어 관찰 방식이 전환될 때도 실시간으로 초점 면을 정확하게 찾을 수 있다.
세 가지, 두 가지 조명 장치를 선택할 수 있으며, 범용형 및 고수치 공경형.FPD, MASK 보드 검사에 적합한 조명을 제공하고 편광경을 장착하여 투사광 간이 편광 관찰을 실현할 수 있다.고반차, 고해상도, 고배율 검사포토레지스트 잔류 검사에 사용되는 형광 관찰 방식 형광 분광경 모듈 UV 광학 시스템은 0.12 μm의 해상도로 더 높은 반차와 해상도를 제공 할 수 있습니다.
4. U.B.G 등 다양한 형광 방식을 선택할 수 있으며, 광택 접착제 잔류 및 OLED 검사에 사용된다.편리한 통신 인터페이스는 현미경 배율과 공경 광맹의 제어와 매개변수를 위해 RS232C를 획득하여 웨이퍼 및 부품에 사용하며, 심지어 용접발의 내부 검사 근적외선 관찰 부속품에는 RS232C 인터페이스가 표준으로 포함되어 있어 PC로 현미경의 전동 부분을 제어할 수 있으며, 공정선의 몇 대의 현미경이 같은 설정 상태에서 작동하도록 할 수 있다.
5. 전문적인 적외선물경 등 부속품을 포함하여 가시광선으로부터 근적외선주파수대역에 이르는 광선의 상차를 교정하여 IC심층 또는 내부검사에 사용함으로써 WAFER BUMP에 대한 전면검사 자동선폭CD측정부속품을 실현할수 있으며 아화소기술로 고도의 정확한 CD측정을 실현할수 있다.
6. 저에너지소모의 절전설계는 사용수명을 크게 연장시켜 록색환경보호의 리념에 부합된다.원클릭 조작 설계를 통해 배율 변환 및 관련 조명 및 라이닝 효과를 쉽게 수행할 수 있습니다.
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