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>제품>직동식 3통 밸브
직동식 3통 밸브
소형 3통 밸브의 다양한 용도에 대응할 수 있다.(가스 제어 밸브·기통 구동, 흡착 운반, 드라이 등)에는 정압 전용 3QE·3QZ 시리즈, 양음압용 3QB 시리즈, 양음압용 대유량 3QR 시리즈가 있다.【적용 실린더 지름: Φ6~Φ20】업계 반도체 제조 공정(전공정)
제품 상세 정보

【친환경성】(3QE・3QZ 시리즈)
내구성이 높을 뿐만 아니라 오작동 및 이물질 유입을 방지해 안정적인 응답성을 구현했다.
발열을 억제하고 전력 소비를 줄일 수 있다.

【유지 보수】(3QE・3QZ 시리즈)
상향, 수평 범용 배선 플러그인 및 수동 장치를 통해 사용 편의성 및 높은 유지 보수성을 제공합니다.
연속적으로 전원을 켤 수 있습니다.(선택 항목)

[소형, 경량] (3QB 시리즈)
밸브 너비 10mm.
무게 12.5g.

[3QB 저진공, 정압 전환] (3QB 시리즈)
저진공, 정압은 자유롭게 조합할 수 있다.
사용자 정의 가능.

【고성능】(3QR 시리즈)
공통 구조.
트래픽을 선택할 수 있습니다.
대유량형: 0.4d㎥/(s/bar)
표준형: 0.3d㎥/(s/bar)
높은 응답: 4±1ms/1.5±1ms(ON/OFF).

모델 이름 배관 구경 설명
3QE 정압 전용형 M5
3QZ 정압 전용형 M5
3QB 양부압 전환형 M5
3QR 양부압 전환 대유량형 M5

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