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정밀 반도체 청정 작업장용 먼지 없는 오븐
먼지 없는 건조기는 반도체 웨이퍼, 액정, 광학 모듈, 카메라 모듈 및 기타 구이에 대한 요구가 높은 부품 및 장비의 열처리/건조 또는 노후화에 널리 사용되며 클린룸 환경에도 설치됩니다.100 레벨의 청결도는 주로 초기 효과 필터, HEPA 고효율 필터 및 전후 계층
제품 상세 정보

제품 특징

PRODUCT FEATURES


먼지 없는 오븐반도체 웨이퍼, 액정, 광학 모듈, 카메라 모듈 및 기타 구이에 대한 요구가 높은 부품 및 장비의 열처리/건조 또는 노후화에 널리 사용되며 클린룸 환경에도 설치됩니다.100 레벨의 청결도는 주로 초기 효과 필터, HEPA 고효율 필터 및 전후 계층 흐름 순환 시스템을 사용하여 이루어지며 가열 또는 냉각 과정에서 안정적인 성능을 제공합니다.

간단하고 편리한 PID 마이크로프로세서 온도 제어 범위는 주변 온도 + 15 ° C에서 200 ° C 범위로 설정할 수 있습니다.먼지 없는 건조기는 PT100 백금 센서로 실제 챔버 온도를 측정하고, 0.3µmHEPA 고효율 필터로 공기를 효과적으로 순환 여과한다.유량계와 NPT 부품을 선별해 불활성 가스를 챔버 실내로 끌어들여 특수 공정으로 구울 수도 있다.

먼지 없는 오븐외재질은 SPCC 강판이 소다수 세척 후 파우더 페인트 처리됩니다.내부는 부식에 강한 스테인리스강입니다.조절식 천공 스테인리스 스틸 베이 4개가 장착되어 있어 장착 브래킷과 본체를 쉽게 분해하고 세척할 수 있습니다.

안전 기능은 독립적인 초온 보호, 서열 보호, 단전 보호 등 다중 보호 메커니즘을 포함하여 사용 안전을 확보한다.안전문이 설치되어 있어 지정된 온도로 온도를 낮춘 후에야 문을 열 수 있어 작업자의 조작 안전을 확보할 수 있다.


제품 특징

모든 용접 및 밀봉 구조는 낮은 입자 수의 지속을 보장합니다.

내장은 스테인리스강(304형)으로 부식에 강하다.

내담은 만용접처리, 관로는 무봉 스테인리스강 파이프 용접처리;

외부 페인트는 흰색 분말 코팅으로 지속적인 부식 방지 보호를 제공합니다.

유리섬유를 이용하여 절연하여 캐비닛의 낮은 표면온도를 확보한다.

중형 문 이중 밀봉 보온 구조;

독립적인 초온 보호;

각 오븐은 완전히 조립되고 공장의 독립적인 테스트를 통과합니다.

내열 HEPA 공기 여과 수송 시스템;

모든 재순환 공기는 순환 여과를 진행하며 환경 청정실 공기를 사용하지 않는다;

필터를 교체해야 할 때 공기압력계를 통해 알 수 있다;

고용량 수평 공기 재순환 시스템과 전기 가열 시스템은 성능 온도를 실현할 수 있다.


어셈블리 옵션

1. 온도 기록기(종이화 또는 무지화)

2. 프로그래밍 가능한 컨트롤러, 이더넷 및 485/232 통신

3. 운송 및 설치를 위한 먼지 없는 실 포장

4, 레이어

5. MES 통신 설정

제품 매개변수

PRODUCT PARAMETERS


온도 범위

실온.+20~200℃

제어 정밀도

+/- 1.0

온도 분포 정밀도

±2(100에서),±3150에서)

온도 상승 시간

약속25min(실온, → 150)。공강실

운영 기능

고정 온도 또는 절차 작업 옵션

내부 치수 (높이 * 폭 * 깊이

910x620x620(mm)

외부 치수 (높이 * 폭 * 깊이

1750x855x1030(mm)

작업공간 용량

350리터(12.3세제곱피트)

필터 장치

150mm HEPA내고온 고효율 필터

전원 공급 장치

3위상380V


맞춤형 서비스

CUSTOM SERVICE선전 이허싱은 서로 다른 정도의 균일성, 사이즈, 온도 범위를 제공할 수 있다;특정 요구 사항이나 사양이 있는 경우 필요에 따라 Dell에 문의하여 장치의 설계, 테스트 및 조정이 고객의 요구 사항에 부합하는지 확인합니다.

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