이점:

• 고진공 환경: 스테인리스 스틸 본체
• 부식 방지: PTFE 본체 옵션
• RoHS 표준

배기 유량이 적절한 수준으로 조정되면:

• 부식 방지제는 박막 형식으로 고르게 분포한다.
• 연무의 2차 퇴적을 방지하다.
• 위험한 증기의 확산을 방지하다.

유량 센서 제어에 비해 부식 방지제와 기타 오염물 누적으로 인한 민감도 변화가 적으며, 동시에 물살과 기타 소음의 영향을 제거하여 제어가 정확하고 안정적이며 신속하도록 보장한다.