제어 알고리즘은 트래픽 비율을 제어하여 안정적인 분류 제어를 실현하는 동시에 HORIBA STEC 제어 최적화 기술을 이용하여 FS-3000 상류 압력을 제어한다.또한 분류비가 변경되더라도 제어 알고리즘은 분류에 대한 고속 응답을 실현할 수 있다.

• 확장성, 유지 관리 성능 향상FS-3000은 최대 15개의 채널을 고속 신호 처리로 분리할 수 있습니다.MFC에 장애가 발생하면 장애가 발생한 시스템을 교체하면 됩니다.

• 유연한 응답에 필요한 사양 FS-3000은 혼합 가스를 포함한 다양한 가스를 지원합니다.또한 FS-3000은 RS-485, DeviceNet과 같은 사용자 인터페이스를 지원합니다.