제품 특징:
1. 기계 케이스는 냉간 압연판 페인트 처리, 내담은 스테인리스강 316L 재료로 만든다;가열기는 내담 외벽 주위에 고르게 분포되어 있으며, 내담 내에는 어떠한 전기 부품과 인화성 폭발 장치도 없다.강화, 방탄 이중 유리문 관찰 작업실 내 물체가 한눈에 들어온다.
2. 상자문의 닫힘과 느슨함은 조절할수 있고 전체적으로 성형된 규소고무문은 코일을 봉하여 상자내의 고진공도를 확보할수 있다.
3. 마이크로컴퓨터 스마트 온도 제어기, 설정, 온도 측정 이중 디지털 디스플레이와 PID 자체 정정 기능을 갖추고 있으며, 온도 제어가 정확하고 신뢰할 수 있다.
4. 지능화 터치스크린 제어 시스템 부대 일본 미쓰비시 PLC 모듈은 사용자가 서로 다른 제조 조건에 따라 프로그램, 온도, 진공도 및 모든 프로그램 시간을 변경할 수 있다.
5. HMDS 가스 밀폐식 자동 흡입 첨가 설계, 진공 상자 밀봉 성능이 뛰어나 HMDS 가스가 외부 누출 우려가 없도록 확보한다.
6. 전체 시스템은 재료로 제조되며 먼지가 발생하지 않는 재료로 100레벨 광각간 환경정화를 적용한다.
부품 선택:
진공펌프: 독일 브랜드, 라이보"DC"이극 시리즈 회전식 오일 펌프, 극한 진공이 높고 소음이 낮으며 운행이 안정적이다.
연결관: 스테인리스강 파문관, 완전히 밀봉하여 진공펌프와 오븐을 연결한다.
HMDS 사전 처리 시스템의 필요성:
반도체 생산 공정에서 광각은 집적회로 도형 이동의 중요한 공정 부분이며, 도교의 품질은 광각의 품질에 직접적인 영향을 미치며, 도교 공정도 특히 중요하다.포토레지스트 공예 중 절대다수의 포토레지스트는 물을 제거하는 것이고, 실리콘 표면의 히드록시와 잔류한 물 분자는 친수이다. 이로 인해 포토레지스트와 실리콘 조각의 접착성이 비교적 떨어진다. 특히 양접착제는 포토레지스트와 실리콘 조각의 연결부에 현상액이 침입하여 표류, 부식 등을 초래하기 쉽다. 또한 포토레지스트 도형의 전이의 실패를 초래하고 습법의 부식은 측향부식이 발생하기 쉽다.점착제 HMDS(헥사메틸실리카실란)는 이런 상황을 잘 개선할 수 있다.HMDS를 실리콘 조각 표면에 바른 후, 오븐의 가온을 거쳐 반응하여 실리콘을 주체로 하는 화합물을 생성할 수 있다.그것은 성공적으로 규소조각의 표면을 친수에서 소수로 변화시켰는데 그 소수기는 포토레지스트와 잘 결합되여 우연제의 역할을 한다.
HMDS 진공 건조기의 원리:
HMDS 사전 처리 시스템은 건조기 HMDS 사전 처리 과정의 작업 온도, 처리 시간, 처리 시 유지 시간 등 매개변수를 통해 실리콘, 기판 표면에 HMDS를 균일하게 도포할 수 있으며, HMDS 처리 후의 실리콘 조각 접촉 각도를 낮추고, 포토레지스트의 사용량을 낮추며, 포토레지스트와 실리콘의 접착성을 높인다.
HMDS 진공 건조기의 일반적인 작업 과정:
먼저 오븐의 작업 온도를 확정한다.전형적인 예처리 절차는 진공펌프를 열어 진공을 뽑고, 챔버 내의 진공도가 어느 높은 진공도에 도달한 후 사람의 질소를 충전하기 시작하고, 어느 낮은 진공도에 도달한 후 다시 진공을 뽑고, 질소를 충전하는 과정을 진행하며, 설정된 질소 충전 횟수에 도달한 후 일정 기간 동안 보유하기 시작하여 실리콘 조각이 충분히 열을 받고 실리콘 표면의 수분을 감소시킨다.그런 다음 다시 진공을 뽑아 HMDS 가스를 충전하기 시작하고, 설정 시간에 도달하면 HMDS 약액 충전을 중단하고 실리콘 조각이 HMDS에 충분히 반응하도록 유지 단계에 들어간다.설정된 유지 시간이 되면 다시 진공을 뽑기 시작합니다.질소를 충전하여 전체 작업 과정을 완성하다.HMDS와 실리콘 반응 기리는 그림과 같다: 먼저 100 ℃ -200 ℃ 로 가열하여 실리콘 표면의 수분을 제거한 후 HMDS는 표면의 OH와 반응하여 실리콘 표면에 실리콘 에테르를 생성하고 수소 결합을 제거하여 극성 표면을 비극성 표면으로 변화시킨다.전체 반응은 공간 비트 저항 (트리메틸 실리콘기가 비교적 크다) 까지 지속되어 더 이상 반응을 막는다.
배출가스 등: 여분의 HMDS 증기(배기가스)는 진공펌프에서 뽑아 전용 배기가스 수집 파이프라인으로 배출된다.전용 배기가스 수집 파이프가 없을 때는 전문적으로 처리해야 한다.
케이스 냉간 압연판 페인트
