1.현미경 영역의 고정밀 검사

새로 개발된 다모세관을 채용하고 탐측기에 대한 최적화를 통해 조사반경을 기존 모델인 FT9500X와 30μm (구상 FWHM: 17μm) 으로 동일시하는 기초에서 처리능력을 2배 이상으로 한층 높였다.

2.제품 라인업 적응 각종 검사 샘플

검측 샘플의 종류에 따라 다음 3가지 모델 중에서 선택할 수 있다.

· 지시선, 커넥터 등 각종 전자 부품의 마이크로 부품, 초박막 박막을 측정하는 모델

· 다음과 같은 치수를 처리할 수 있습니다.600mm × 600mm의 대형 인쇄회로기판의 대형 인쇄회로기판용 모델

· 세라믹 칩의 전극 부분 중 과거에는 동시에 측정하기 어려웠던Sn/Ni 두 레이어에서 고에너지 측정을 수행하는 모델

3.운영 편의성과 보안 모두 고려

개구부를 확대하면 견본실 문도 한 손으로 쉽게 열 수 있다.이를 통해 검측 샘플을 꺼내고 넣는 조작의 간편성을 높이고 이 밀봉 구조도 X선 누출 위험을 크게 줄여 안심하고 사용할 수 있다.

4. 검측 부위가 보인다

대형 관찰창을 설치하고 부품 레이아웃을 수정함으로써 견본실 문이 닫힌 상태에서도 검사 부위를 쉽게 관찰할 수 있다.

5. 선명한 샘플 이미지

기존보다 해상도가 높은 샘플 관찰 카메라를 사용했으며 풀 디지털 줌을 적용해 위치 편차를 없애고 수십 μm의 미세한 샘플을 선명하게 관찰할 수 있다.
또 LED를 샘플 관찰등으로 채택해 기존 모델처럼 전구를 교체할 필요가 없다.

6. 새 GUI

각종 검사 방법, 검사 샘플을 응용 프로그램 아이콘 형식으로 등록했다.아이콘은 모두 검측 샘플의 사진, 다층막의 그림 등이기 때문에 등록, 정리가 매우 편리하여 사용자가 시행착오를 겪지 않고 직접 검측을 진행할 수 있다.

테스트 마법사 창을 사용하여 작업을 안내합니다.검사 화면과 연동하여 사용자가 현재 필요한 작업을 수행하도록 점진적으로 유도합니다.