1. ICP 기기 정비의 목적:
1) 계기에 존재하는 고장을 제때에 발견한다.
2) 기기의 잠재적 위험을 조사하여 적시에 발견하고 예방조치를 제출한다.
3) 기기의 정비를 통하여 기기의 민감도를 높이고 기기의 사용수명을 연장한다.
4) 기기의 안정성을 증가시키고 테스트 데이터의 정확성을 보장한다;
2. ICP 기기 유지보수의 내용:
1) 모든 회로 기판, 팬 및 장비 표면의 먼지 제거
2) 세척 안개기, 안개실, 채광추와 횃불 파이프
3) 냉각 순환수 교체, 파이프 청소
4) 진공관 이음매, 솔레노이드 밸브 스위치 밀봉성 검사 조정 빔 좁은 틈 위치
5) 진공 펌프 성능 검사, 펌프 오일 교체, 코일, 분자체
6) 가스병에서 ICP 사이에 가스가 누출되지 않았는지 검사, 회로 합격성 확인
7) 검사기기 가스, 보조가스 센서, 세척
8) RF 고주파 발생기 먼지 제거 유지 보수, 진공 광실 유지 보수
9) 사용자의 작업 문제 해결