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제품 상세 정보
- 제품 설명
헬륨 이온 크로마토그래프는 전자 공업용 기체 중 흔적 불순물의 검측을 적용하며, 작은 검측 농도는 5ppb에 달한다.기기는 고감도 헬륨 이온화 검측기를 갖추고 있으며, 화아이회사의 센터 절단 기술을 채용하고, 샘플링 밸브는 모두 청소 보호 가스로를 가지고 있다;전체 기계는 다중 기둥 상자로 설계되었으며, 샘플링 압력 자동 교정 시스템을 갖추어 서로 다른 저력의 샘플의 샘플링 양을 보장한다.제품은 선후로 상해시 첨단기술성과전환 A급 프로젝트를 수상하였다.
크립톤 분석용 헬륨 이온 크로마토그래프참고: GB/T 5829-2006 크립톤 가스
| 프로젝트 | 지표 | |||
| 고순도 크립톤 | 순수 크립톤 | |||
| 일등품 | 합격품 | |||
| 크립톤(Kr)(체적분수)/10-2 | ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| 질소(N2)(체적분수)(N2)/10-6 | ≤ | 2 | 8 | 20 |
| 산소(O2) + 아르곤(Ar)(체적분수)/10-6 | ≤ | 1.5 | 5 | 5 |
| 수소(H2)(체적분수)/10-6 | ≤ | 0.5 | 1 | 2 |
| 일산화탄소(CO)(체적분수)/10-6 | ≤ | 0.3 | 0.4 | 1 |
| 이산화탄소(CO2)(체적분수)/10-6 | ≤ | 0.4 | 0.8 | 1 |
| 메탄(CH4)(체적분수)/10-6 | ≤ | 0.3 | 0.8 | 1 |
| 수분(H2O)(체적분수)/10-6 | ≤ | 2 | 3 | 5 |
| 제논(Xe)(체적분수)/10-6 | ≤ | 2 | 20 | 50 |
| 불화물(CF4)(체적분수)/10-6 | ≤ | 1 | 10 | 15 |
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