• 고정밀 ± 1.0% 설정점
  이 품질 트래픽 컨트롤러의 선형도는 다항식 근사 곡선으로 보상되며 트래픽 컨트롤 범위 내에서 높은 정밀도를 구현합니다.실제 가스 정밀도를 높이기 위해 다양한 공정 가스의 측정 데이터는 HORIBA STEC사의 표준 가스 측정 시스템에 의해 측정됩니다.
• 고속 응답
  가변 PID 시스템을 어셈블하여 두 설정점 간에 1초 응답을 제공합니다.가변 PID는 트래픽 포인트 설정에 따라 변경됩니다.전체 거리 유량과 가스가 변경될 때 PID 계수를 최적화합니다.
• 멀티 가스 / 멀티 스레드 솔루션
  소프트웨어를 구성하면 빠르고 쉽게 사양을 변경할 수 있습니다.중요한 특징은 가스 컨트롤 패널이나 파이프에서 품질 흐름 컨트롤러를 제거하지 않고도 변경할 수 있다는 것입니다.필요한 예비 품질 트래픽 컨트롤러의 수를 줄이고 시간과 비용을 절감합니다.

SEC-Z500X 품질 트래픽 컨트롤러는 다양한 응용프로그램 및 반도체 제조에 적용됩니다.