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제품 상세 정보
설명
기본 사양
| YSH20 | |
|---|---|
| 대상 기판 촌법 |
L50 x W30 ～ L250 x W200 mm ※ 최대 L340 x W340mm의 기판을 지원할 수 있습니다. |
| 소자 공급 형태 | 웨이퍼(6/8/12인치 플랫 루프), 벌집 트레이, 벨트 디스크(폭 8/12/16mm) |
| 전원 사양 | 3상 AC 200/208/220/240/380/400/416V: ±10% 50/60Hz |
| 공급원 | 0.5MPa 이상, 청결 건조 상태 |
| 폼 팩터 (돌기 부분 제외) | L 1400 x W1820 x H1515mm(바디 부분만) L 1400 x W2035 x H1515mm(YWF 웨이퍼 공급 장치 포함) |
| 무게 | 약 2470kg(바디 부분만) 약 2780kg(YWF 웨이퍼 공급장치 포함) |
- ※ 자세한 내용은 문의하시기 바랍니다.
- 규격과 외관에 변동이 있으면 별도로 통지하지 않을 수 있습니다.
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